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光学引线键合技术 (photonic wire bonding)

前一篇笔记 硅光芯片的光源 提到通常将III-V族LD直接倒装焊到SOI芯片上,但是该方法对贴装的精度要求较高,需要花费较多的时间进行对准调节。本篇笔记主要介绍一种新的解决方案,用于解决贴装对准的问题。

该方案称为Photonic wire bonding(以下简称为PWB), 顾名思义,也就是光学打线。在集成电路中,使用金属打线(metallic wire bonding)的方法实现芯片间的互联,示意图如下,

光学引线键合技术 (photonic wire bonding)

(图片来自https://www.quora.com/What-metals-are-generally-used-in-electrical-wires-cables)

借鉴金属打线的思路,人们提出了光学引线键合的方案,用于实现不同光芯片、芯片与光纤之间的互联。起到连接作用的“线”不再是金属,而是光波导,其示意图如下,

光学引线键合技术 (photonic wire bonding)

(图片来自文献1)

通过PWB将LD的出光口与硅光芯片的入光口相连,将硅光芯片的出光口与单模光纤相连。该方案避免了传统方案中耗时较多的对准调节,节省了光束整形所需的透镜等,并且制备简单快捷,利于大规模的生产。

该方案最早由德国Karlsruhe理工大学(KIT)研究小组提出,经过多年的努力,PWB的性能指标逐步提高。其基本思路为通过控制高能量的脉冲光束,使得光刻胶特定位置处发生多光子聚合作用,形成3维的聚合物波导,如下图所示。聚合物波导的尺寸根据光芯片光场MFD大小进行设计,进而实现光场从芯片A到芯片B的传输。

光学引线键合技术 (photonic wire bonding)

(图片来自文献1)

该方法与3d激光直写波导(可参看光芯片的材料体系比较)非常相似,区别在于所选取的材料,PWB的材料为光刻胶,形成波导后会清洗掉没有曝光的光刻胶,而激光直接波导通常所选取的材料为玻璃。

具体说来,PWB方案可以细分为如下步骤:1)将不同的光芯片放置在同一基片上。可以设计基片的形状,补偿不同芯片间的高度差。受激光写场(writing field)大小的限制,两个芯片间的距离不超过500um*500um*300um。2)使用丙酮、酒精等清洗光芯片,在需要互联的两芯片间沉积光刻胶。3)基于机器视觉技术,借助于marker识别需要互联的区域,曝光形成PWB。PWB的形状可根据芯片间的距离、MFD等参数做相应的调整。4)去除未曝光的光刻胶。

光学引线键合技术 (photonic wire bonding)

(图片来自http://www.vanguard-photonics.com/expertise/)

下图是两个芯片间PWB互联的结构图,

光学引线键合技术 (photonic wire bonding)

(图片来自文献2)

由于不同芯片的光场MFD差异,PWB的形状一般为弯曲的taper, 例如通过PWB尺寸的变小,将单模光纤的光场逐渐变小,最终转换为硅波导中的模场,如下图所示,

光学引线键合技术 (photonic wire bonding)

(图片来自文献1)

PWB的主要性能指标是插入损耗,目前激光器与硅波导间的插损为-0.4dB(文献3),性能较好,其结构示意图如下,

光学引线键合技术 (photonic wire bonding)

(图片来自文献3)

单模光纤与硅波导间的插损较大,在-4dB左右,主要原因在于光纤中心位置与PWB的偏差。

由于PWB的材料是聚合物,其稳定性与可生产性需要进一步的验证,没有在文献中查找到相关的数据。目前掌握该技术的主要机构是德国的KIT大学,以及与其合作的vanguard photonics公司(http://www.vanguard-photonics.com)。

以上是对光学引线键合方案的介绍,该方案的想法非常简单,但技术瓶颈较高,需要多年的工艺积累。该方案能否脱颖而出,一方面需要进一步提高其性能指标,尤其是硅光芯片与光纤间的插损,其可靠性也需要进一步验证;另一方面还在于市场的需求,如果生产的数量非常大,该方案的优势非常明显,成本可进一步降低。

文章中如果有任何错误和不严谨之处,还望大家不吝指出,欢迎大家留言讨论交流。

参考文献:

  1. N. Lindenmann, PhD thesis, "Photonic Wire Bonding as a Novel Technology for Photonic Chip Interfaces"
  2. N. Lindenmann, et.al., "Photonic wire bonding: a novel concept for chip scale interconnects", Opt. Exp. 20,17667(2012)
  3. M. Billah, et.al., "Hybrid integration of silicon photonics circuits and InP lasers by photonic wire bonding", arXiv 1802, 03454(2018)