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光學引線鍵合技術 (photonic wire bonding)

前一篇筆記 矽光晶片的光源 提到通常将III-V族LD直接倒裝焊到SOI晶片上,但是該方法對貼裝的精度要求較高,需要花費較多的時間進行對準調節。本篇筆記主要介紹一種新的解決方案,用于解決貼裝對準的問題。

該方案稱為Photonic wire bonding(以下簡稱為PWB), 顧名思義,也就是光學打線。在內建電路中,使用金屬打線(metallic wire bonding)的方法實作晶片間的互聯,示意圖如下,

光學引線鍵合技術 (photonic wire bonding)

(圖檔來自https://www.quora.com/What-metals-are-generally-used-in-electrical-wires-cables)

借鑒金屬打線的思路,人們提出了光學引線鍵合的方案,用于實作不同光晶片、晶片與光纖之間的互聯。起到連接配接作用的“線”不再是金屬,而是光波導,其示意圖如下,

光學引線鍵合技術 (photonic wire bonding)

(圖檔來自文獻1)

通過PWB将LD的出光口與矽光晶片的入光口相連,将矽光晶片的出光口與單模光纖相連。該方案避免了傳統方案中耗時較多的對準調節,節省了光束整形所需的透鏡等,并且制備簡單快捷,利于大規模的生産。

該方案最早由德國Karlsruhe理工大學(KIT)研究小組提出,經過多年的努力,PWB的性能名額逐漸提高。其基本思路為通過控制高能量的脈沖光束,使得光刻膠特定位置處發生多光子聚合作用,形成3維的聚合物波導,如下圖所示。聚合物波導的尺寸根據光晶片光場MFD大小進行設計,進而實作光場從晶片A到晶片B的傳輸。

光學引線鍵合技術 (photonic wire bonding)

(圖檔來自文獻1)

該方法與3d雷射直寫波導(可參看光晶片的材料體系比較)非常相似,差別在于所選取的材料,PWB的材料為光刻膠,形成波導後會清洗掉沒有曝光的光刻膠,而雷射直接波導通常所選取的材料為玻璃。

具體說來,PWB方案可以細分為如下步驟:1)将不同的光晶片放置在同一基片上。可以設計基片的形狀,補償不同晶片間的高度差。受雷射寫場(writing field)大小的限制,兩個晶片間的距離不超過500um*500um*300um。2)使用丙酮、酒精等清洗光晶片,在需要互聯的兩晶片間沉積光刻膠。3)基于機器視覺技術,借助于marker識别需要互聯的區域,曝光形成PWB。PWB的形狀可根據晶片間的距離、MFD等參數做相應的調整。4)去除未曝光的光刻膠。

光學引線鍵合技術 (photonic wire bonding)

(圖檔來自http://www.vanguard-photonics.com/expertise/)

下圖是兩個晶片間PWB互聯的結構圖,

光學引線鍵合技術 (photonic wire bonding)

(圖檔來自文獻2)

由于不同晶片的光場MFD差異,PWB的形狀一般為彎曲的taper, 例如通過PWB尺寸的變小,将單模光纖的光場逐漸變小,最終轉換為矽波導中的模場,如下圖所示,

光學引線鍵合技術 (photonic wire bonding)

(圖檔來自文獻1)

PWB的主要性能名額是插入損耗,目前雷射器與矽波導間的插損為-0.4dB(文獻3),性能較好,其結構示意圖如下,

光學引線鍵合技術 (photonic wire bonding)

(圖檔來自文獻3)

單模光纖與矽波導間的插損較大,在-4dB左右,主要原因在于光纖中心位置與PWB的偏差。

由于PWB的材料是聚合物,其穩定性與可生産性需要進一步的驗證,沒有在文獻中查找到相關的資料。目前掌握該技術的主要機構是德國的KIT大學,以及與其合作的vanguard photonics公司(http://www.vanguard-photonics.com)。

以上是對光學引線鍵合方案的介紹,該方案的想法非常簡單,但技術瓶頸較高,需要多年的工藝積累。該方案能否脫穎而出,一方面需要進一步提高其性能名額,尤其是矽光晶片與光纖間的插損,其可靠性也需要進一步驗證;另一方面還在于市場的需求,如果生産的數量非常大,該方案的優勢非常明顯,成本可進一步降低。

文章中如果有任何錯誤和不嚴謹之處,還望大家不吝指出,歡迎大家留言讨論交流。

參考文獻:

  1. N. Lindenmann, PhD thesis, "Photonic Wire Bonding as a Novel Technology for Photonic Chip Interfaces"
  2. N. Lindenmann, et.al., "Photonic wire bonding: a novel concept for chip scale interconnects", Opt. Exp. 20,17667(2012)
  3. M. Billah, et.al., "Hybrid integration of silicon photonics circuits and InP lasers by photonic wire bonding", arXiv 1802, 03454(2018)