【文/觀察者網 呂棟】“中國不太可能獨立複制（replicate）出頂尖的光刻技術，因為阿斯麥依賴于不懈的創新，以及整合隻有從非中國供應商處才能獲得的零部件。但我的意思并不是絕對不可能，因為中國的實體定律和我們這裡是一樣的。永遠别那麼絕對（Never say never），他們肯定會嘗試的。”當地時間1月19日，荷蘭光刻機巨頭阿斯麥（ASML）CEO溫彼得（Peter Wennink）表示。
光刻是晶片制造的核心環節，也是研發難度最大的半導體裝置。目前，阿斯麥壟斷着最頂尖的光刻機市場，該公司也是以被美國視為圍堵中國大陸晶片産業發展的“政治棋子”。溫彼得在做出上述表述的同時還透露，阿斯麥尚未獲得向中國大陸出口最先進光刻機的許可，但一些生産成熟制程的光刻機出口并不受限制。
CINNO Research半導體事業部總經理Elvis Hsu在接受觀察者網采訪時表示，光刻機是半導體制造裝置價格占比最高的部分約25-30%，其研發難點在于曝光光源、對準系統和透光鏡頭等技術的整合，以及龐大資金投入。目前，國内技術領先的光刻機研制廠家是上海微電子，可以穩定生産90/65nm制造技術的光刻機。
路透社報道截圖
剛過去的2021年是全球晶片短缺最嚴重的一年，作為半導體制造關鍵裝置提供商，阿斯麥1月19日也拿出一份亮眼業績。财報顯示，阿斯麥2021年總營收為186億歐元（約合人民币1339億元），同比增長33%；淨利潤為59億歐元（約合人民币425億元），同比增長66%；毛利率為53%，比上年同期提高4個百分點。
阿斯麥CEO溫彼得表示，2021年營收中有63億歐元來自42個EUV系統（極紫外光刻機）訂單，比上年多11個。該公司在過去一年經曆許多挑戰，市場需求比最大産能高出40%至50%。為提高對客戶的支援，該公司選擇縮短周期以運送更多裝置，主要通過快速發貨流程跳過工廠的一些測試，并在客戶現場進行最終測試和正式驗收。雖然這會使收入确認推遲到客戶正式驗收前，但能幫助客戶提早進行晶圓生産。
增加員工數量，也成為阿斯麥應對需求增長的方法。溫彼得表示，該公司計劃在今年年底前将員勞工數從目前的3.15萬人增加到3.5萬人。他透露，該公司在2021年淨增加4000多名新員工，到2022年底，員勞工數将比2020年底增加近30%。不過，溫彼得表示，該公司可能需要兩到三年才能實作供需平衡。随着新工廠的建設，到2025年或2026年，全球半導體行業甚至可能出現“某種程度的供過于求”。
單從四季度來看，阿斯麥實作營收50億歐元，毛利率達到54.2%，淨利潤18億歐元；新增訂單金額71億歐元。期内，該公司共出貨82台光刻系統，環比上季度增加3台；其中EUV光刻系統11台，比上個季度減少4台；在所有出貨中，73%光刻機被用于邏輯工藝制造，27%的光刻機用于存儲晶片生産。
阿斯麥2021年四季度财報截圖
從出貨地來看，中國台灣依然是阿斯麥的最大市場，四季度有51%的光刻系統發往當地，占比環比提升5個百分點；南韓是該公司第二大市場，同期有27%的光刻系統發往當地，占比環比下降6個百分點；中國大陸是阿斯麥第三大市場，四季度有22%的光刻系統向當地出貨，占比提升12個百分點。2021年三季度，美國和日本分别在阿斯麥出貨中占比10%和1%，但四季度占比均意外降為0，具體原因尚不清楚。
阿斯麥光刻機出貨資訊
過去幾年，阿斯麥一直在研發高數值孔徑（0.55 NA）EUV光刻機。這種EUV光刻機采用最新的光學設計，具有更高的分辨率（由13nm更新到8nm），可以使晶片面積縮小1.7倍，半導體密度增加2.9倍。與目前的0.33 NA EUV光刻機相比，0.55 NA光刻機可以顯著提高良率、降低成本和縮短生産周期。當然，0.55 NA光刻機的價格也相當昂貴，每台售價約為3億美元（約合人民币19億元），比0.33 NA光刻機售價高出一倍。
目前，台積電等生産7nm-5nm制程的晶片采用的都是0.33 NA EUV光刻機，而第一代0.55 NA光刻機TWINSCAN EXE:5000還在研發過程中，預計2023年上市。早在2018年，英特爾就率先向阿斯麥下單第一代0.55 NA EUV光刻機，該公司也有望成為首個高數值孔徑EUV光刻機的使用者，并将其用于3nm及以下制程。
阿斯麥NXE3400型EUV光刻機（0.33 NA） 圖源：阿斯麥官網
在本次披露财報時，阿斯麥透露，該公司在2021年四季度收到一份TWINSCAN EXE:5000光刻機訂單，累計訂單達到5份。與此同時，該公司還在2022年初收到下一代高數值孔徑EUV光刻機TWINSCAN EXE:5200的首份訂單，下單的還是英特爾。從路線圖來看，TWINSCAN EXE:5200預計最快2024年底投入使用，2025年開始大規模應用于2nm甚至以下先進制程的生産。國外曾有分析師直言，“我敢打賭，英特爾為這一權利花了很多錢，因為他肯定不是唯一想先得到這種機器的公司。”
圖源：阿斯麥
展望新一年的業績，阿斯麥預計其2022年一季度銷售收入約為33億-35億歐元，環比下滑30%-34%。溫彼得對此解釋稱，由于大量的快速出貨，約有20億歐元的預期收入将從第一季度轉移到後續季度，這也是該公司一季度預期銷售額較低的原因。縱觀全年，即使考慮到目前6個EUV系統的快速出貨相關收入将轉移至2023年，該公司2022年的營收增長仍将達20%左右。
但這個說法遭到中國台灣半導體分析師陸行之的質疑。他提到，2021年四季度，阿斯麥存儲器晶片用光刻機營收占比環比下滑12個百分點，同期确認收入的EUV也低于原預期，或許是南韓三星、海力士因為DRAM（動态随機存儲器）合約價格下滑，要求延遲付EUV的款項給阿斯麥。因為既然是快速出貨，理論上應該也是快速或準時付款，但現在阿斯麥快速出貨卻被延遲付款，怎麼解釋都顯得很奇怪。
台媒報道截圖
在釋出本次财報前，阿斯麥柏林工廠曾發生火災。TrendForce集邦咨詢向觀察者網提供的一份報告顯示，阿斯麥德國柏林工廠火災對晶圓代工及存儲器而言，将可能對EUV光刻機裝置制造産生較大影響。而根據該機構掌握的資訊，阿斯麥所需的零部件亦不排除通過其他廠區取得，加上目前EUV裝置交期相當長，是以實際對EUV供應的影響仍有待觀察。而阿斯麥方面也預計柏林火災不會對其2022年的系統出貨産生重大影響。
從2018年開始，阿斯麥就試圖向中國大陸銷售EUV光刻機，希望進一步進入中國大陸市場，但荷蘭政府一直未準許其出口許可申請。在美國的持續施壓之下，這一請求已被荷蘭官員擱置。溫甯克在财報釋出當天表示，他擔心進一步的出口限制。“我對任何政府采取的出口管制措施都感到擔憂。我們嚴重缺乏成熟的半導體技術，我們需要成熟的制造能力。”
“出口管制将加快中國自主研發，15年時間裡他們将做出所有的東西”、“中國完全自主掌控供應鍊之後，歐洲供應商将徹底失去市場”，其實溫彼得去年4月就已經公開表達焦慮，但美國一直選擇視而不見。
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