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2nm工藝進展受阻,微波爐成關鍵突破點 | 台積電&康奈爾大學

Pine 發自 凹非寺

量子位 | 公衆号 QbitAI

微波爐成制作2納米晶片的關鍵技術。

沒錯,就是廚房裡的那個微波爐。

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康奈爾大學的研究團隊改進了家用微波爐,使用微波的方法對晶片進行加工處理,還稱這有可能使台積電和三星等領先制造商的晶片縮小到僅2納米。

目前相關研究成果已發表在《應用實體快報》上。

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微波爐能成為制作2納米晶片的突破點?

具體如何,一起來看看吧。

微波技術增強了電流傳導能力

在此之前,先簡單了解下是什麼限制了2nm晶片的制作。

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晶片上會有很多個半導體,在半導體的内部,電流會從起始端(源極)流向終點(漏極)。

在這個過程中,電流會經過一個閘門(栅極),而栅極的寬度正是平時所說的晶片尺寸。

但随着制程技術的發展,栅極的寬度越來越小,源極和漏極之間的距離也越來越近。

這就會導緻源、漏兩極的電場對栅極産生幹擾,進而使得栅極對電流的控制能力大大下降,也就是出現短溝道效應。

而解決短溝道效應很大程度上就是在晶片材料和工藝上下功夫,其中的一個辦法就是提高器件溝道摻雜濃度。

具體來說,就是通過在晶片材料中摻雜大量的其他原子,然後對其進行退火來激活摻雜的原子。

比如說,将磷原子摻雜至矽中,然後對這個混合物進行加熱退火,提高磷原子的平衡濃度,也就是說激活磷原子在矽中的活性,進而提高其電流傳導能力。

但提高摻雜濃度并不是一件易事。

傳統的提高平衡濃度的加熱退火方法目前已經達到了極限,若要再提高,可能會導緻矽晶體膨脹。

傳統的方法行不通,隻能另尋他路。

這不,康奈爾大學研究人員提出了一種新的提高磷的平衡濃度的方法:微波技術。

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△圖源:cornell.edu

在此之前,台積電就已經做出過微波可以激活多餘的摻雜物的推測。

但微波有一個很大的弱點,就是駐波的存在,它不傳導能量,會阻礙材料中摻雜物的持續激活。

那這麼說,隻要解決“駐波”這個問題,一切就都迎刃而解了。

的确如此,台積電與康奈爾大學的黃哲倫合作,一起改進了微波爐,使微波爐在工作過程中産生的駐波能夠被有效控制。

這樣一來,便能夠有選擇地控制駐波發生的時間,使得晶片材料中所摻雜的原子能夠被适當激活,并且不會出現過度加熱損壞晶體的狀況。

除此之外,使用微波技術提高摻雜濃度,可能也會改變晶片中使用的半導體的幾何形狀。

鳍式場效應半導體結構已經存在20多年了,而微波退火使得一種新的半導體結構成為可能,在這種結構中,半導體作為納米片水準疊加,可以進一步增加半導體的密度和控制。

值得一提的是,黃哲倫還對這項技術做出預測:

這一技術可能用于生産出現在2025年左右的半導體材料和電子産品。

并且,他也與博士後詹盧卡 · 法比(Gianluca Fabi)共同申請了微波退火器的兩項專利。

但對于微波技術能不能稱得上是制作2nm晶片的關鍵技術,有網友發表了自己的意見。

基本上,他們改進了制造晶片的許多步驟之一。但這并不是晶片尺寸的步驟,相反,它隻是一個準備步驟,以供其他步驟更好地運作。
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對于微波技術,你覺得它稱得上是2nm晶片的突破關鍵嗎?

歡迎下方評論區留言~

論文連結:

https://aip.scitation.org/doi/full/10.1063/5.0099083

參考連結:

https://news.cornell.edu/stories/2022/09/modified-microwave-oven-cooks-next-gen-semiconductors

— 完 —

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